太陽能硅片自動分檢系統(tǒng)根據(jù)客戶的實(shí)際需求,整合上下游企業(yè)的相關(guān)需求,為太陽能硅片生產(chǎn)企業(yè)提供了完整的檢測解決方案,降低了硅片檢測成本,為企業(yè)創(chuàng)造價值。 
【產(chǎn)品描述】
      該系統(tǒng)可對太陽能硅片的電性能、幾何尺寸、外觀缺陷進(jìn)行全自動分揀,硅片生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)用此系統(tǒng),替代以往人工檢測方式,大大提高了檢測效率,充分滿足了硅片使用廠家的質(zhì)量要求,同時降低了該企業(yè)和下游企業(yè)的整體質(zhì)控成本,提高了客戶在行業(yè)的競爭力。   
產(chǎn)品外觀
硅片分檢
【基本原理】
系統(tǒng)整體采用非接觸測量方式,通過在流水線中設(shè)置五個工位,分別實(shí)現(xiàn)硅片各個參數(shù)的檢測。其中,電阻率、厚度、TTV、P/N型號、Bow/Warp采用電渦流法和電容法實(shí)現(xiàn)非接觸自動檢測;輪廓尺寸采用機(jī)器視覺技術(shù)實(shí)現(xiàn);隱裂、孔洞缺陷通過紅外視覺技術(shù)實(shí)現(xiàn);表面臟污缺陷通過機(jī)器視覺技術(shù)并輔以特殊設(shè)計光源實(shí)現(xiàn);線痕缺陷通過光針掃描技術(shù)實(shí)現(xiàn)。
   
【規(guī)格指標(biāo)】
(1)能夠適應(yīng)三種規(guī)格單晶硅片檢測需求,包括6吋(邊長125mm×125mm,對角線150mm)、6.5吋(邊長125mm×125mm,對角線165mm)、8吋(邊長156mm×156mm,對角線200mm);
(2)能夠檢測硅片各種缺陷,包括電阻率、厚度、TTV、P/N、線痕、幾何尺寸、臟污、孔洞、隱裂、BOW/WARP;
(3)檢測效率:3000片/小時;
(4)進(jìn)料機(jī)構(gòu)采用物料籃(花籃)自動進(jìn)料,物料籃必須與設(shè)備配套使用,人工將物料籃安裝到設(shè)備進(jìn)料口,安裝過程應(yīng)簡單快捷; 
(5)合格標(biāo)準(zhǔn)可設(shè)定,以適應(yīng)區(qū)分不同的質(zhì)量級別;
(6)具備硅片分選功能。一個分選模塊有6個分選工位,各工位的分選標(biāo)準(zhǔn)可以自定義,既可以將每個分選工位設(shè)置成一種缺陷的幾個等級(等級劃分由客戶自定義,但不可超過6級),也可以將每個分選工位設(shè)置成幾種不同的缺陷(最多設(shè)置6種缺陷)。客戶可設(shè)置缺陷種類的優(yōu)先級,若硅片上具有兩種或多種缺陷時按照客戶定義的優(yōu)先級進(jìn)行分選;如果認(rèn)為6個分選工位不能滿足使用要求,則可以購買多臺分選模塊;
(7)上、下料及檢測過程中防止硅片碰傷與損壞,碎片率要求< 0.1%;可以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲、統(tǒng)計、分析、查詢及圖表繪制等。配備網(wǎng)絡(luò)接口,可以進(jìn)行測量設(shè)備現(xiàn)場聯(lián)網(wǎng)統(tǒng)一控制管理。測量結(jié)果能夠打印輸出;
(8)設(shè)備具備安全防護(hù)功能,實(shí)現(xiàn)自動保護(hù)。配備急停裝置,發(fā)生緊急情況時可立即停止設(shè)備,防止意外傷害;
(9)采用模塊化設(shè)計,便于維護(hù)和維修。 
【解決方案價值對照表】   
【應(yīng)用擴(kuò)展】
        此解決方案經(jīng)適量修改,也可適用于太陽能電池板、多晶硅、單晶硅檢測等。
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