電子超純水設(shè)備,超純水設(shè)備
電子超純水設(shè)備概述
電子行業(yè)超純水設(shè)備適用于集成電路芯片、單晶硅、顯像管、液晶顯示器、計算機硬盤、線路板等工藝所需的純水和超純水制備.在嚴格執(zhí)行ISO-9001國際質(zhì)量體系標準的前提下,采用世界上最先進的反滲透膜元件.壓力容器和高壓泵、配以合理而又高效的前處理設(shè)備及后處理設(shè)備,使產(chǎn)品出水符合各類電子行業(yè)生產(chǎn)標準的超純水.控制系統(tǒng)選用PLC或計算機DCS程序控制,可實現(xiàn)自動起停、加藥及沖洗,自動監(jiān)測各種運行參數(shù),并可實現(xiàn)運行參數(shù)的儲存及打印 廣泛適用于: 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路 LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管 超純材料和超純化學(xué)試劑 光導(dǎo)纖維、光盤。目前,制備超純水的方法通常采用反滲透,去離子或電去離子(EDI)等工藝。在水質(zhì)要求達10MΩ.cm以上,通常采用不同的工藝進行組合搭配的方法來制取,例如采用反滲透加去離子,反滲透加EDI等。
電子工業(yè)用超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑;
3、實驗室和中試車間;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品;
電子超純水設(shè)備的工藝流程
電子行業(yè)超純水的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置 精密過濾器→用水點
電子超純水的工藝比較
設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種,現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面:
1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設(shè)備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。
3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水最經(jīng)濟,最環(huán)保用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。
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