北京工業(yè)顯微鏡 GM-6工業(yè)測(cè)量顯微鏡 測(cè)量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體，集成電路的檢驗(yàn)和精確測(cè)量。配備有冷光源光纖反射照明，成像和觀察系統(tǒng)，偏光裝置。 ● 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm ● 鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜，瞳距55-75mm ● 高眼點(diǎn)、視場(chǎng)目鏡WF10X/22 ● 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器 ● 長工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡 Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm, Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm, Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm, Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm ● 調(diào)焦系統(tǒng)同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm ● 載物臺(tái) 6″x8″雙層活動(dòng)平臺(tái),移動(dòng)行程153x204mm ● 三維測(cè)量系統(tǒng) 分辨率： 1μm 測(cè)量精度: ±(2+L/200)μm 重復(fù)定位精度: 2μm 照明系統(tǒng) Illumination System ● 冷光源光纖反射照明器：12V150W，特別明亮清晰 ● 選配： 完善和全面的測(cè)量軟件 --------完整的幾何量測(cè)(如:點(diǎn),線,圓,弧,角度等) --------坐標(biāo)系的設(shè)定，擺正,旋轉(zhuǎn) --------顯示方式多樣化；語言的轉(zhuǎn)換，公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換