SpecEI橢偏儀 
SpecEI-2000-VIS橢偏儀用波長(zhǎng)功能測(cè)量從基底表面反射的極化光用來(lái)確定厚度和折射材料指數(shù)。SpecEl可以用PC機(jī)控制。一鍵測(cè)量折射指數(shù)，吸光率和厚度。 一體化精密系統(tǒng) SpecEl有完整的光源，一個(gè)光譜儀和兩個(gè)固定到70°的偏光鏡。里面甚至包括一個(gè)32-bit Windows操作系統(tǒng)的PC機(jī)。SpecEl可以探測(cè)一個(gè)圖層薄到0.1nm厚到5μm。另外，它可以提供折射指數(shù)到0.005° SpecEl軟件和配備文件 在SpecEl軟件里，你可以改裝和保存實(shí)驗(yàn)方法的文件以做一步分析，然后生成一個(gè)配方，你可以選擇配方去做實(shí)驗(yàn)。 屏幕顯示的是SpecEl軟件示范Psi和Delta價(jià)值，你可以用來(lái)計(jì)算膜厚度，折射率和吸光率。 
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