深圳市眾誠達應(yīng)用材料科技有限公司是一家從事靶材研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)?,F(xiàn)已擁有陶瓷燒結(jié)、等離子噴涂、真空熔煉等核心技術(shù)。公司產(chǎn)品主要包括:高密度陶瓷濺射靶材(3N-5N):ITO靶,AZO靶,IGZO靶,氧化鎂靶,氧化釔靶,氧化鐵靶材,,氧化鎳靶,氧化鉻靶,氧化鋅靶,硫化鋅靶,硫化鎘靶材,硫化鉬靶,二氧化硅靶,一氧化硅靶,二氧化鋯靶,五氧化二鈮靶,二氧化鈦靶,二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,三氧化鎢靶,三氧化二鋁靶,五氧化二鉭靶,氟化鎂靶,硒化鋅靶,氮化鋁靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化硅靶材,鈮酸鋰靶,鈦酸鐠靶材,鈦酸鋇靶,鈦酸鑭靶等高密度陶瓷濺射靶材.備注:CNM生產(chǎn)的陶瓷靶材采用世界最先進的陶瓷生產(chǎn)工藝—惰性氣體保護熱等靜壓燒結(jié)技術(shù),相對密度大于95-99%??梢蕴峁┌胁牡慕饘倩幚砑敖壎ǚ?wù)。
    深圳市眾誠達應(yīng)用材料科技有限公司主要生產(chǎn)經(jīng)營磁控濺射鍍膜靶材和靶材綁定。濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導磁率、超高密度與超細晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。 濺射靶材有金屬,合金,陶瓷,硼化物等。
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