江蘇實為半導體科技有限公司-肇慶MOCVD過濾器配套設備價格1234a3211
是國內(nèi)前列的MOCVD等半導體設備的核心部件和耗材供應商。由唐山實為半導體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊資金2000萬,總部在邳州,并在蘇州設有辦事處。我國的半導體制造業(yè)在近年有了長足發(fā)展,但所使用的設備還主要來自國外,如MOCVD主要從美國和德國進口。1234a3211
VeecoSomitJoshi在“用于提高功率器件性能的硅基氮化鎵MOCVD進展”的演講中表示,新興的中/高電壓應用在電力供應,替代能源以及數(shù)據(jù)中心,都需要更高的功率效率,滿足較高的工作溫度以及更小的系統(tǒng)規(guī)模。氮化硅在這些參數(shù)上遠遠好于硅。1234a3211
由于工藝的嚴苛要求,這些設備在使用過程中有些關鍵部件只有一定壽命,需要定期更換。同時這些部件的技術升級對于提升設備整體的性能非常有效。目前這些備件主要是從國外大量進口,價格昂貴并且技術升級緩慢,國產(chǎn)化替代的需求十分強烈,市場前景非常廣闊。結合我司技術團隊多年在國外從事半導體研發(fā)的經(jīng)驗,通過刻苦攻關,我司填補了國內(nèi)商用大功率MOCVD加熱器的空白,受到客戶的高度肯定。-肇慶MOCVD過濾器配套設備價格1234a3211MOCVD設備將Ⅱ或Ⅲ族金屬有機化合物與Ⅳ或Ⅴ族元素的氫化物相混合后通入反應腔,混合氣體流經(jīng)加熱的襯底表面時,在襯底表面發(fā)生熱分解反應,并外延生長成化合物單晶薄膜。與其他外延生長技術相比,MOCVD技術有著如下優(yōu)點:1、用于生長化合物半導體材料的各組分和摻雜劑都是以氣態(tài)的方式通入反應室,因此,可以通過控制氣態(tài)源的流量和通斷時間來控制外延層的組分、摻雜濃度、厚度等。可以用于生長薄層和超薄層材料。1234a3211
包括Ⅲ族金屬有機化合物、V族氫化物及摻雜源的供給。金屬有機化合物裝在特制的不銹剛的鼓泡器中,由通入的高純H2攜帶輸運到反應室。1234a3211
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