江蘇實為半導(dǎo)體科技有限公司-佛山MOCVD加熱器設(shè)備生產(chǎn)廠家1234a3211
是國內(nèi)前列的MOCVD等半導(dǎo)體設(shè)備的核心部件和耗材供應(yīng)商。由唐山實為半導(dǎo)體和海外專家陳景升共同投資組建,公司注冊資金2000萬,總部在邳州,并在蘇州設(shè)有辦事處。我國的半導(dǎo)體制造業(yè)在近年有了長足發(fā)展,但所使用的設(shè)備還主要來自國外,如MOCVD主要從美國和德國進口。1234a3211
主要特性如下:1234a3211
1、已通過量產(chǎn)驗證,在短時間內(nèi)設(shè)備即可到較理想的工藝水平1234a3211
2、產(chǎn)品經(jīng)過多道化學(xué)清洗,并使用超聲波處理,氮氣加熱烘干后在氮氣柜中保存1234a3211
3、隔熱板材料使用高純鉬,不含任何PBN,較之前壽命提升30%-50%,維護保養(yǎng)更加方便1234a3211
4、線圈加熱重新設(shè)計,B區(qū)在原來的基礎(chǔ)上加大,使加熱器溫度分布更大更均勻,效率更高1234a3211
5、支撐及固定點重新設(shè)計,整個加熱器不易變形,更加持久耐用1234a3211
6、維護更加方便快捷,可以有效的降低成本1234a3211
目前我司已量產(chǎn)MOCVD之關(guān)鍵組件如加熱器、整流罩、過濾器等產(chǎn)品,并正在開發(fā)和推廣刻蝕用托盤和靜電吸盤、離子注入機的離子源等產(chǎn)品。我司的目標(biāo)是成為中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備備件和耗材供應(yīng)商,不但為客戶提供全面而可靠的產(chǎn)品,還要通過客制化服務(wù),為客戶提供更為優(yōu)化的核心部件以提升機器的整體性能,為客戶提供高附加值的服務(wù),實現(xiàn)雙贏的局面。-佛山MOCVD加熱器設(shè)備生產(chǎn)廠家1234a3211石墨基座是由高純石墨制成,并包裹SIC層。加熱多采用高頻感應(yīng)加熱,少數(shù)是輻射加熱。由熱電偶和溫度控制器來控制溫度,一般溫度控制精度可達到0.2℃或更低。1234a3211
因為MOCVD生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì),并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料。因此在MOCVD系統(tǒng)的設(shè)計思想上,通常要考慮系統(tǒng)密封性,流量、溫度控制要好,組分變換要迅速,系統(tǒng)要緊湊等。不同廠家和研究者所產(chǎn)生或組裝的MOCVD設(shè)備是不同的。1234a3211
【云端系統(tǒng)代發(fā)】-佛山MOCVD加熱器設(shè)備生產(chǎn)廠家
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