詳細描述 儀器特點 ◆　超精密全自動測量，四軸ＣＮＣ控制； ◆　精密花崗巖機臺，精度高、穩(wěn)定性好； ◆　三軸ＴＨＫ精密直線導(dǎo)軌、精密傳動系統(tǒng)； ◆?。遥澹睿椋螅瑁幔鏖_放式光柵尺，精度高、穩(wěn)定性好； ◆?。裕冢裕牛俗詣幼儽豆鈱W(xué)鏡頭，可實現(xiàn)自動變倍測量； ◆　程控式６環(huán)８區(qū)環(huán)形表面光源，ＬＥＤ輪廓光源，同軸光源； ◆　自動對焦測高，可加裝接觸式測頭； ◆　提供多種行程規(guī)格配置，如２２２、３２２、４３２、５４２等。 　 技術(shù)參數(shù) 型號 ＶＭＵ２２２ ＶＭＵ３２２ ＶＭＵ４３２ ＶＭＵ５４２ 行程（ｍｍ） ２００×２００×２００ ３００×２００×２００ ４００×３００×２００ ５００×４００×２００ 外部尺寸（ｍｍ） １０４０×７４０×１６２０ １０４０×７４０×１６２０ １２４０×８００×１６２０ １４４０×１０００×１６８０ 重量（ｋｇ） ２４０ ２５０ ３１０ ４００ 承重（ｋｇ） ２５ ２５ ２５ ２５ 測量精度 ＸＹ軸＊ Ｅ２＝（１．５＋Ｌ／３００）μｍ Ｅ２＝（１．９＋Ｌ／３００）μｍ Ｚ軸＊＊ Ｅ１＝（５．０＋Ｌ／２００）μｍ 速度 ＸＹ軸 ２００ｍｍ／Ｓ Ｚ軸 １００ｍｍ／Ｓ 光柵尺 ０．１μｍ?。遥澹睿椋螅瑁幔鞴鈻懦? 導(dǎo)軌 ＴＨＫ 圖像傳感器 高清晰彩色專用工業(yè)攝像機 光源 輪廓光 ＬＥＤ冷光源，２５６級亮度可調(diào) 表面光 ６環(huán)８區(qū)ＬＥＤ冷光源，各段獨立操控，２５６級亮度可調(diào) 同軸光 ＬＥＤ冷光源，２５６級亮度可調(diào) 光學(xué)鏡頭 ?。保玻担海边B續(xù)變倍 放大倍率＊＊＊ 光學(xué)放大倍率：０．６～７．５×；影像放大倍率：１８～２３０× 軟件 Ｖｉｓｐｅｃ測量軟件（ＶＭＵ版） 運動控制 自主專利的ＣＮＣ直流伺服系統(tǒng) 保修期 １年 工作環(huán)境 溫度２０℃±２℃，溫度變化