KA300光柵尺的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進行測量。高分辨率的KA300光柵尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進行細分,目前(2006年)KA300光柵尺位移傳感器系統(tǒng)多采用電子細分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與KA300光柵尺刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,隨著KA300光柵尺的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對KA300光柵尺柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。
在一個莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細分與判向功能。例如,柵線為50線對/mm的KA300光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖,這在工業(yè)普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小,又要檢測其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信號。
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