石墨舟承載車專門用于太陽能行業(yè)與PECVD配套,取出石墨舟,旋轉(zhuǎn)180度便于裝硅片
石墨舟承載車主要特性:
1. 采用不銹鋼與鋁型材制造,潔凈度高。
2. 可調(diào)式油壓緩沖器,沖擊小,平穩(wěn)。
3. 能保證與PECVD準(zhǔn)確定位。
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