PECVD冷卻房
用途與規(guī)格：
? 適合于長1196mm規(guī)格的石墨舟的裝片和冷卻
? 外形效尺寸:L1600*D960*H2750mm
? 高級不銹鋼板SUS304# 方通和板料,經(jīng)氬弧密實(shí)焊接制作而成
? 裝片臺采用SUS.304帶孔板制作,高低及傾斜角度可調(diào)
? 承載車進(jìn)出及定位方便可靠，制作有緩沖塊,并有接近開關(guān)檢測
? 大風(fēng)量高壓離心風(fēng)機(jī),風(fēng)量大于1000m3/h,向下吹風(fēng)
? 中效過濾器,過濾等級99%
設(shè)備特點(diǎn): 
整個(gè)冷卻房采用不銹鋼304制作，保證整個(gè)設(shè)備堅(jiān)固可靠； 
吹進(jìn)空氣必須經(jīng)過過濾網(wǎng)過濾； 
頂部裝有吸風(fēng)罩和排風(fēng)機(jī)； 
為達(dá)到節(jié)電效果，裝有自動(dòng)裝置，當(dāng)小車推進(jìn)冷卻房后自動(dòng)啟動(dòng)，冷卻到規(guī)定時(shí)間或者小車離開冷卻房都能自動(dòng)停止； 
凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB； 風(fēng)葉保證每個(gè)部分都能吹到。