反滲透（膜分離）技術(shù)的應(yīng)用使反滲透超純水設(shè)備從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復(fù)合離子交換器得到了一次進(jìn)步。近年來開始在國外推廣應(yīng)用的EDI（電去離子）技術(shù)，則是超純水制造技術(shù)的一次革命，從此進(jìn)入了一個無需再生化學(xué)品，而能生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ·CM的超純水，用于半導(dǎo)體、集成電路等行業(yè)。 反滲透超純水設(shè)備是采用專用RO技術(shù)設(shè)計，關(guān)鍵部件、設(shè)備采用進(jìn)口名牌產(chǎn)品，工藝先進(jìn)，質(zhì)量可靠，可擴展性強，結(jié)構(gòu)合理占地小，水利用率高，能耗低，全自動化運行，操作維護(hù)簡單。一般產(chǎn)水下限0.25m3/hr，上限不限，水回收率一般可達(dá)75%以上，脫鹽率＞98%。產(chǎn)水量隨進(jìn)水溫度下降和反滲透膜老化或受污染有一定變化。 　　 反滲透超純水設(shè)備典型工藝流程為： 　　 1: 預(yù)處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點 　　 2: 預(yù)處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點 　　 3: 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點 　　 4: 預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點反滲透純水系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于： 電子工業(yè)用水 　集成電路、硅晶片、顯示管等電子元器件沖洗水 制藥行業(yè)用水 　大輸液、針劑、片劑、生化制品、設(shè)備清洗等批量生產(chǎn) 水凈化設(shè)備 純凈水處理設(shè)備 化工行業(yè)工藝用水 　化工循環(huán)水、化工產(chǎn)品制造等 電力行業(yè)鍋爐補給水 　火力發(fā)電鍋爐、廠礦中低壓鍋爐動力系統(tǒng)批量生產(chǎn) 水凈化設(shè)備 純凈水處理設(shè)備 食品工業(yè)用水 　飲用純凈水、飲料、啤酒、白酒、保健品等 海水、苦咸水淡化 　海島、艦船、海上鉆進(jìn)平臺、苦咸水地區(qū) 飲用純凈水 　房產(chǎn)物業(yè)、社區(qū)、企事業(yè)單位等 其它工藝用水 　汽車、家電涂裝、鍍膜玻璃、化裝品、精細(xì)化學(xué)品等